source：正定發(fā)布

據(jù)介紹，晶馳機(jī)電半導(dǎo)體材料裝備研發(fā)生產(chǎn)項(xiàng)目總投資2億元，占地約50.26畝，總建筑面積約20000平方米，項(xiàng)目分兩期建設(shè)，一期建設(shè)計(jì)劃時間為2025年—2026年。項(xiàng)目以金剛石設(shè)備與碳化硅外延設(shè)備為產(chǎn)品核心，專注于第三代和第四代半導(dǎo)體材料裝備的研發(fā)、生產(chǎn)。

該項(xiàng)目于今年7月落地河北正定縣，目前已經(jīng)完成了廠房的基本改造，展廳的搭建、辦公室的搭建以及凈化生產(chǎn)車間的搭建。項(xiàng)目負(fù)責(zé)人表示，下一步將加快項(xiàng)目建設(shè)進(jìn)度，爭取在十月下旬正式投產(chǎn)。

資料顯示，晶馳機(jī)電成立于2021年7月，其總部與研發(fā)中心位于杭州市浙江大學(xué)杭州國際科創(chuàng)中心，致力于碳化硅、金剛石、氮化鋁、氧化鎵等第三、四代半導(dǎo)體材料裝備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和應(yīng)用推廣。

目前公司產(chǎn)品包括6英寸、8英寸水平進(jìn)氣和6英寸及8英寸兼容型垂直進(jìn)氣碳化硅外延設(shè)備（LPCVD 法），金剛石生長設(shè)備（MPCVD 法），金剛石外延設(shè)備、氮化鋁長晶設(shè)備，碳化硅源粉合成爐，氧化鎵單晶生長爐（導(dǎo)模法、CZ法），各種晶體和晶片熱處理爐。

據(jù)集邦化合物半導(dǎo)體此前報(bào)道，晶馳機(jī)電還在本月完成了數(shù)千萬首輪融資，該筆資金由河北正茂產(chǎn)業(yè)投資有限公司（正定縣政府產(chǎn)業(yè)投資基金）領(lǐng)投。

晶馳機(jī)電表示，該筆融資的完成將有助于推動其在第三代、第四代半導(dǎo)體材料裝備的研發(fā)和市場推廣，提升其在國內(nèi)第三代、第四代半導(dǎo)體裝備行業(yè)競爭力，加速推動半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化進(jìn)程。（集邦化合物半導(dǎo)體Morty整理）

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